目标
1 通过化学气相沉淀方法将统一的胶片应用在硅晶片上。
2 使化学物质沉淀在晶片上。
解决方案
在沉淀开始前，Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置，这样校准可以定位金属盘在一个合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。
特点
2 直接测试： 一个环直接连接到弹簧浮板传感器可以直接测试气体喷射器的位置。
3 无需接触：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
4 应用广泛。
